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Auteurs > Z > Zhang Peng
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Tri :   Date de référencement Editeur Auteur Titre

Development and fabrication of vertical thin film transistors based on low temperature polycrystalline silicon technology
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  • Date de publication : 
    • 18-12-2012  | 
  • Auteur(s) : 
    • Zhang Peng  | 
  • Editeur(s) : 
    • Universite de Rennes 1, Université européenne de Bretagne  | 
  • Origine de la fiche : 
    • Université de Rennes 1
  • This work deals with the development of vertical thin film transistors (VTFTs) via the fabrication processes and the analysis of the electrical characteristics. The low-temperature (T ≤ 600°C) polycrystalline silicon technology is adopted in the fabrication processes. The first step of the work consists in the fabrication and characterization of VTFTs obtained by rotating the lateral thin film tra...


  • Référencé le  : 
    • 19-04-2013
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