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Auteurs > Y > Yang Kai
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Tri :   Date de référencement Editeur Auteur Titre

Fabrication and characterization of silicon nanowires for devices applications compatible with low temperature (≤300 ˚C) flexible substrates
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  • Date de publication : 
    • 13-12-2019  | 
  • Auteur(s) : 
    • Yang Kai  | 
  • Editeur(s) : 
    • Universite de Rennes 1  | 
  • Origine de la fiche : 
    • Université de Rennes 1
  • La fabrication et la caractérisation de nanofils de silicium à basse température (≤300 °C) a été menée suivant deux approches: par la méthode des espaceurs et par la méthode de croissance Solide Liquide Solide (SLS). La synthèse des nanofils de silicium a été étudiée à l'aide de deux technologies de dépôts: le dépôt CVD assisté par plasma (PECVD) et le dépôt à couplage inductif (ICP CVD). Les étu...


  • Référencé le  : 
    • 10-11-2020
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