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Auteurs > W > Wenga Gertrude
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Tri :   Date de référencement Editeur Auteur Titre

Mise en œuvre d'un capteur chimique et biologique à base de nanofils de silicium
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  • Date de publication : 
    • 09-12-2013  | 
  • Auteur(s) : 
    • Wenga Gertrude  | 
  • Editeur(s) : 
    • Université de Rennes 1  | 
  • Origine de la fiche : 
    • Université de Rennes 1
  • L'objectif de ce travail de recherche est la réalisation de dispositifs à base de nanofils de silicium, réalisés par la méthode des espaceurs. La synthèse des nanofils est effectuée à partir d'une couche de silicium polycristallin, déposée par la technique LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition). Ces nanofils sont ensuite intégrés dans les dispositifs électroniques tels que des résistances ...


  • Référencé le  : 
    • 02-06-2015
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