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Auteurs > A > Ahammou Brahim
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Tri :   Date de référencement Editeur Auteur Titre

Control of the mechanical and optical properties of SiNx-based films for optical and strain engineering applications
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  • Date de publication : 
    • 24-01-2023  | 
  • Auteur(s) : 
    • Ahammou Brahim  | 
  • Editeur(s) : 
    • Université de Rennes, McMaster university‎ (Hamilton, Canada)  | 
  • Origine de la fiche : 
    • Université de Rennes 1
  • Les couches minces à base de nitrure de silicium (SiNx) ont été reconnus comme des diélectriques essentiels dans l'industrie microélectronique et optoélectronique en raison de leurs propriétés intéressantes. Dans cette thèse, nous décrivons comment contrôler l'indice optique et les propriétés mécaniques des couches de SiNx et d'oxynitrure de silicium (SiOyNx) en ajustant les paramètres du processu...


  • Référencé le  : 
    • 08-03-2023
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