De la caractérisation micromécanique du vieillissemnt hydrothermique des interphases polyépoxyde - Fibre de verre - au comportement du composite unidirectionnel. Relations entre les échelles micro et macro

Auteur(s) : ZINCK, Philippe Contributeurs : GERARD, Jean-François Éditeur(s) : INSA de Lyon Date de publication : 27-09-2000

Accès à la ressource :  http://docinsa.insa-lyon.fr/these/pont.php?id=zinc... Description : Cette thèse a pour objectifs d'élucider le rôle joué par les interphases dans les mécanismes de dégradation hydrothermique des matériaux composites polyépoxyde / fibres de verre et de dégager des outils de caractérisation des interphases pour parvenir à terme à carcatériser l'influence de la nature des différents composants sur le comportement interfacial au vieillissement hydrothermique. La caractérisation mécanique de composites unidirectionnels a permis de proposer un mécanisme de post-condensation des interphases au cours du vieillissement attribué au caractère hybride inorganique - organique de ces zones. Nous nous sommes ensuite intéressés à la mise au point d'une méthodologie d'étude des phénomènes interfaciaux par analyse micromécanique (déchaussement - microgoutte et fragmentation). Cette approche plus fine permet de mettre en évidence l'influence de la nature des composants (chimie de la matrice polyépoxyde, traitement de surface et diamètre des fibres) sur la résistance de l'interphase au vieillissement... Langue : Français

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Technologie et Caractérisations de Films Minces Piézoélectriques pour la Réalisation de MEMS

Auteur(s) : ZINCK, Christophe Contributeurs : BARBIER, Daniel Éditeur(s) : Institut National des Sciences Appliquées de Lyon Date de publication : 05-04-2005

Accès à la ressource :  http://docinsa.insa-lyon.fr/these/pont.php?id=zinc... Description : Ce travail présente l'élaboration, la caractérisation et l'intégration de films minces piézoélectriques (AlN et PZT) dans des microsystèmes silicium. Les films de PZT sont élaborés par pulvérisation RF magnétron d'une cible céramique (Pb(Zr0,52Ti0,48)O3), puis cristallisés dans la phase pérovskite par un recuit haute température (700 C). Le dépôt a été optimisé, et est reproductible dans le temps. Les films d'AlN sont, eux, élaborés par pulvérisation DC pulsée réactive d'une cible d'aluminium. Ils présentent une très bonne texture dans la phase würzite (0002). La désorientation de l'AlN (0002) est inférieure à 1,5 sur une électrode en molybdène. Des mesures des coefficients piézoélectriques, d33 et d31, ont été réalisées par double interférométrie laser et par la technique de la poutre vibrante. Différentes réalisations technologiques ont pu être conduites des microactionneurs (membranes et poutres) et des résonateurs acoustiques à onde de volume (FBAR et SMR). Nous avons pu mettre en évidence les avantages et les inconvénients des différents matériaux. L'AlN a pu être intégré dans une architecture de microcommutateur RF par des technologies d'usinage de surface. La poutre présente une déflexion de l'ordre de 1µm sous 40V. Le PZT, du fait de l'étape de recuit, n'a pu être intégré par usinage de surface, mais les membranes SiN/PZT obtenues par usinage de volume ont une déflexion quasi statique de 210nm/V. Des résonateurs acoustiques à onde de volume (BAW) ont également été réalisés à l'aide de ces matériaux. Les résultats se situent au niveau de l'état de l'art. Les BAW en AlN présentent un coefficient de couplage maximum de 7% et un facteur de qualité maximum de 850.

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